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사업분야

진공기술, 열기술 및 자동화 기술을 기반으로 이차전지, 디스플레이, 클린물류, 공장자동화, 신재생에너지 산업을 영위하고 있으며,
고부가가치 사업 중심의 포트폴리오 확장, 해외시장 확대, 최첨단 장비의 개발, 생산 및 SW 역량 강화를 통하여
고객의 성장과 함께 메카트로닉스 산업을 선도하는 리더로 도약하고 있습니다.

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클린물류 소개 배경화면

클린물류

디스플레이/반도체 클린물류 장비는 클린 제조공정에 특화된 고청정 자동화 설비입니다.
물류 컨설팅, 설계, 설치, 사후관리 등 고객 니즈에 맞춰 최적환된 Total Solution을 제공하고 있습니다.

  • Clean Stocker (Glass Cassette)
    Clean Stocker (Glass Cassette)
    디스플레이 클린 자동화 설비로 Glass Cassette를 저장/보관/반송 하는 설비이며
    고객 요구 사양에 맞게 구현 가능한 장비입니다.

    Spec

    • Environment Cleanness : Class10~Class1000
    • Pay Load : Max. 1,000kg
    • Velocity : Max. 3.5m/sec
    • Velocity : 1.5m/sec
    • Acc/Dec : 0.75m/sec²
    • Fork Loading Time : 11sec 이내
    • Vibration : RMS 0.3 G 이하
  • BRC (OCS : Overhead Conveyor System)
    BRC (OCS : Overhead Conveyor System)
    디스플레이 클린 자동화 설비로 Glass Cassette를 물류 장비간 반송하는 설비이며
    고객 요구 사양에 맞게 구현 가능한 장비입니다.

    Spec

    • Environment Cleanness : Class10~Class1000
    • Pay Load : Max. 1,000kg
    • Velocity : Max. 2m/sec
    • Vibration: RMS 0.8 G 이하
  • Clean Lifter
    Clean Lifter
    디스플레이 클린 자동화 설비로 Glass Cassette를 층간별로 반송하는 설비이며
    고객 요구 사양에 맞게 구현 가능한 장비입니다.

    Spec

    • Environment Cleanness : Class10~Class1000
    • Pay Load : Max. 1,000kg
    • Velocity : Max. 2.5m/sec
    • Height : Max. 90m
  • OHT
    OHT
    디스플레이 클린 자동화 설비로 Tray를 물류 장비 및 공정 장비간 반송하는 설비이며,
    고객 요구 사양에 맞게 구현 가능한 장비입니다.

    Spec

    • Environment Cleanness : Class10~Class1000
    • Pay Load : Max. 70kg
    • Velocity : Max. 3.5m/sec
    • Acc/Dec: 1.5m/sec²
    • Vibration: RMS 0.8 G 이하
  • Clean Stocker (Wafer FOUP & FOSB & POD & Cassette)
    Clean Stocker (Wafer FOUP & FOSB & POD & Cassette)
    반도체 클린 물류 설비로 Wafer FOUP, FOSB, POD를 저장/분류 하는 Auto Storage System으로
    반도체 공정별 요구 사양에 맞는 Chamber Type, Rack Type 등 다양한 형태로 구현 가능합니다.

    Spec

    • Environment Cleanness: Class1 ~ Class1000
    • Velocity: 1.5m/sec
    • Acc/Dec: 2.5m/sec²
    • Vibration: RMS 0.5 G 이하
    • Purge: 상시 PN2 Purge 구성
    • Environment Control: Humidity, Temperature, Pressure, oxygen concentration
  • Tower Lifter
    Tower Lifter
    반도체 클린 물류 설비로 반도체 Wafer FOUP & FOSB을 각 층별로 이송하는
    Auto Lift & Storage System 입니다.

    Spec

    • Lifting Stroke: Max 60m
    • Lift Velocity: 360m/min
    • Fork Loading Time: 3sec 이내
    • Acc/Dec: 2m/sec²
    • Vibration: RMS 0.8 G 이하
  • OHT
    OHT
    반도체 클린 자동화 설비로 Wafer FOUP, FOSB, POD, Glass FOUP를 물류 장비 및
    공정 장비간 반송하는 설비이며, 고객 요구 사양에 맞게 구현 가능한 장비입니다.

    Spec

    • Environment Cleanness : Class10~Class1000
    • Pay Load : 10~70kg
    • Velocity : Max. 3.5m/sec
    • Acc/Dec: 1.5m/sec²
    • Vibration: RMS 0.8 G 이하
  • EFEM
    EFEM
    반도체 클린 물류 설비로 반도체 Wafer를 FOUP & FOSB에서 공정 장비로 반송하는 설비이며,
    고객 요구 사양에 맞게 구현 가능한 장비입니다.

    Spec

    • Environment Cleanness : Class10~Class1000
    • Velocity : 0.7m/sec
    • Rotate : 240°/sec
  • Cleaner
    Cleaner
    디스플레이/반도체 제조 공정에서 기판 위의 불순물을 제거하는 설비이며,
    고객 요구 사양에 맞게 구현 가능한 장비입니다.

    특장점

    • Oxide Blocking
    • Cleaning Uniformity
    • Temperature Control
    • Utility 소모량 최소화
    • Safety
  • Developer
    Developer
    디스플레이/반도체 제조 공정에서 노광 된 PR을 현상하는 설비이며,
    고객 요구 사양에 맞게 구현 가능한 장비입니다.

    특장점

    • Develop Fume Blocking
    • Develop Uniformity
    • Temperature Control
    • Utility 소모량 최소화
    • Safety
  • Stripper
    Stripper
    디스플레이/반도체 제조 공정에서 기판 위에 남아있는 PR을 제거하는 설비이며,
    고객 요구 사양에 맞게 구현 가능한 장비입니다.

    특장점

    • Strip Fume Blocking
    • Strip & Remove Uniformity
    • Temperature Control
    • Utility 소모량 최소화
    • Safety
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