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业务领域

公司正在以热技术及自动化技术为基础，经营二次电池、显示器、清洁物流、工厂自动化、新再生能源产业。
通过扩大以高附加值产业为中心的投资组合，拓展海外市场，强化先进装备的开发、生产及SW能力，在陪伴客户成长的同时，引领机电产业的发展。

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清洁物流

清洁物流

显示器/半导体清洁物流装备是专为清洁制造工程量身定做的高度清洁自动化设备。
在物流咨询、设计、安装、事后管理等方面，根据客户需求，提供最佳的Total Solution。

  • 洁净立库(Clean Stocker)(玻璃卡匣)
    洁净立库(Clean Stocker)(玻璃卡匣)
    是储存/保管/送还玻璃卡匣(Glass Cassette)的显示器清洁自动化设备。
    可根据顾客所需提供定制型的配置。

    规格

    • 环境清洁度: 级别10~级别1000
    • 有效负载: 最大1,000公斤
    • 速度: 最大3.5米/秒
    • Acc/Dec: 0.75m/sec²
    • 货叉加载时间: 11秒以内
    • Vibration: RMS 0.3 G以下
  • BRC (高架输送器:Overhead Conveyor System，OCS)
    BRC (高架输送器:Overhead Conveyor System，OCS)
    是物流设备间送还玻璃卡匣(Glass Cassette)的显示器清洁自动化设备。
    可根据顾客所需提供定制型的配置。

    规格

    • 环境清洁度: 级别10~级别1000
    • 有效负载: 最大1,000公斤
    • 速度: 最大2米/秒
    • Vibration: RMS 0.8 G以下
  • 清洁升降机
    清洁升降机
    是楼层间送还玻璃卡匣(Glass Cassette)的显示器清洁自动化设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    规格

    • 环境清洁度: 级别10~级别1000
    • 有效负载: 最大1,000公斤
    • 速度: 最大2.5米/秒
    • 高度: 最大90米
  • OHT
    OHT
    是显示器清洁自动化设备，在物流装备及工程装备之间搬送Tray。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    规格

    • Environment Cleanness : Class10~Class1000
    • Pay Load : Max. 70kg
    • Velocity : Max. 3.5m/sec
    • Acc/Dec: 1.5m/sec²
    • Vibration: RMS 0.8 G以下
  • 洁净立库(Clean Stocker)(Wafer FOUP&FOSB&POD&Cassette)
    洁净立库(Clean Stocker) (Wafer FOUP&FOSB&POD&Cassette)
    通过半导体洁净物流设备，存储/分类Wafer FOUP, FOSB, POD, Cassette的自动存储系统(Auto Storage System)可呈现符合不同半导体种类要求配置的Chamber Type、Rack Type等各种不同的形态。

    规格

    • 环境清洁等级: Class1~Class1000
    • 速度: 1.5m/秒
    • 升/降时间: 2.5m/sec2
    • 震动: RMS 0.5 G以下
    • 清洗: 平时PN2 Purge构成
    • 环境控制: 湿度、温度、压力、氧气浓度
  • Tower Lifter
    Tower Lifter
    是一款半导体清净设备，可将半导体Wafer FOUP&FOSB按照各个层进行运输的自动升降&存储系统(Auto Lift&Storage System)。

    规格

    • 升降行程: 最大60mm
    • 升降速度: 360m/分
    • 货叉装载时间: 3秒以内
    • 升/降时间: 2m/ sec2
    • 震动: RMS 0.8G以下
  • OHT
    OHT
    是半导体清洁自动化设备，在物流装备及工程装备之间搬送Wafer FOUP、FOSB、POD、Glass FOUP。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    规格

    • Environment Cleanness : Class10~Class1000
    • Pay Load : 10~70kg
    • Velocity : Max. 3.5m/sec
    • Acc/Dec: 1.5m/sec²
    • Vibration: RMS 0.8 G or less
  • EFEM
    EFEM
    作为半导体清洁物流设备，是将半导体Wafer从FOUP & FOSB搬送至工程装备的设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    Spec

    • 环境清洁度: Class10~Class1000
    • 有效负载: 0.7m/sec
    • Rotate : 240°/sec
  • Cleaner
    Cleaner
    是在制造显示器/半导体制造工程中清除基板上的不纯物的设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    显著优势

    • Oxide Blocking
    • Cleaning Uniformity
    • Temperature Control
    • Utility消耗量最少化
    • Safety
  • Developer
    Developer
    是在显示器/半导体制造工程中将完成曝光的PR进行显影的设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    显著优势

    • Develop Fume Blocking
    • Develop Uniformity
    • Temperature Control
    • Utility消耗量最少化
    • Safety
  • Stripper
    Stripper
    Stripper 是在显示器/半导体制造工程中用于去除基板上残留的PR的设备。可根据顾客所需提供定制型的配置。

    显著优势

    • Strip Fume Blocking
    • Strip & Remove Uniformity
    • Temperature Control
    • Utility消耗量最少化
    • Safety
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